Dopovacie procesy v CVD epitaxii kremíka : Kand.diz.práca : V.odb. 11-22-9 : Obh. 28.11.1994 /

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Halaj, Ján (Verfasst von)
Weitere Verfasser:	Barta, Štefan (Betreuung Doktorarbeit)
Format:	Manuskript Buch
Veröffentlicht:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1994
Schlagworte:	fyzika kondenzačných látok a akustika fyzika tuhých látok epitaxné vrstvy fyzikálne modelovanie fyzika polovodičov
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu7324
005	20160720091657.4
008	------s1994----------------------------d
040			\|a STU \|b slo
100	1		\|a Halaj, Ján \|4 aut
245	1		\|a Dopovacie procesy v CVD epitaxii kremíka : \|b Kand.diz.práca : V.odb. 11-22-9 : Obh. 28.11.1994 / \|c [aut.] Halaj,Ján, Ing.; Škol. Bárta,řtefan
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 1994
300			\|a 105 s \|c Autoref.1994, 20 s
650		7	\|a fyzika kondenzačných látok a akustika \|2 stusub
650		7	\|a fyzika tuhých látok \|2 stusub
650		7	\|a epitaxné vrstvy \|2 stusub
650		7	\|a fyzikálne modelovanie \|2 stusub
650		7	\|a fyzika polovodičov \|2 stusub
700	1		\|a Barta, Štefan \|4 ths \|u E150 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Katedra fyziky \|U E150 \|Y 62
996			\|b 284ED00314 \|c E*KDIZ-708 \|l EE01 \|s A \|a 24 \|w stu7324_0001