Vytváranie nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros Autores: | |
| Formato: | Manuscrito Libro |
| Lenguaje: | eslovaco |
| Publicado: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2021
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioForm&sid=FD5533CA5E14D63E45B56AE9A2AD&seo=CRZP-detail-kniha |
| Etiquetas: |
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|
MARC
| LEADER | 00000ntm a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stuzp81688 | ||
| 003 | SK-STU | ||
| 005 | 20210817141154.2 | ||
| 007 | ta | ||
| 008 | 150427s2015----xo-----f-mn---000-0-slo-d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a slo | |
| 044 | |a xo | ||
| 100 | 1 | |a Vajda, Matúš |u 036000 |4 aut |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva |X 98246 |U E060 |Y 817 |7 98246 | |
| 242 | 0 | 1 | |a Fabrication of nanostructures using electron lithography |y eng |
| 245 | 1 | 0 | |a Vytváranie nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie |
| 260 | |a Bratislava : |b STU v Bratislave FEI, |c 2021 | ||
| 300 | |a 51 s. | ||
| 650 | 4 | |a SEM |2 slo | |
| 650 | 4 | |a EBL |2 slo | |
| 650 | 4 | |a LER |2 slo | |
| 650 | 4 | |a LWR |2 slo | |
| 650 | 4 | |a EBL |2 eng | |
| 650 | 4 | |a LER |2 eng | |
| 650 | 4 | |a SEM |2 eng | |
| 650 | 4 | |a LWR |2 eng | |
| 700 | 1 | |a Pavúk, Milan |u 036000 |k Z2 |4 ths |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva |X 10210 |U E060 |Y 817 |7 A000010210 | |
| 856 | 4 | |u https://opac.crzp.sk/?fn=detailBiblioForm&sid=FD5533CA5E14D63E45B56AE9A2AD&seo=CRZP-detail-kniha | |