Mikroštruktúra HfO2 a Hf1-xSixOy dielektrických tenkých vrstiev s vysokou permitivitou určených pre moderné CMOS štruktúry

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Autore principale: Franta, Marek (Autore)
Altri autori: Harmatha, Ladislav, 1948- (Relatore della tesi), Rosová, Alica (Relatore della tesi)
Natura: Manoscritto Libro
Lingua:slovacco
Pubblicazione: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
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