Vplyv techniky depozície Ru a RuO2 kovových hradiel na elektrické vlastnosti štruktúr MOS a Ta2O5 hradlovýcm dielektrikom

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Auteur principal: Hudák, Erik (Auteur)
Autres auteurs: Harmatha, Ladislav, 1948- (Directeur de thèse), Ťapajna, Milan, 1977- (Directeur de thèse)
Format: Manuscrit Livre
Langue:slovaque
Publié: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2008
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