Depozícia tenkých vrstiev využitím magnetrónového naprašovania a dutej katódy
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| Autres auteurs: | |
| Format: | Manuscrit Livre |
| Langue: | slovaque |
| Publié: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2009
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| Sujets: | |
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