Technológia a charakterizácia tenkých vrstiev nitridov a oxidov kovov pre použitie v mikroelektronike, senzorike a mikrosystémovej technike : dát. obhaj. 7.5.2010, č.ved.odb. 26-35-9
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Manuscript Book |
| Language: | Slovak |
| Published: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2010
|
| Subjects: | |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Similar Items: Technológia a charakterizácia tenkých vrstiev nitridov a oxidov kovov pre použitie v mikroelektronike, senzorike a mikrosystémovej technike :
- Tenké vrstvy nitridov a oxidov kovov pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : Obhaj. 8.2.2005
- Optimalizácia senzorických vlastností naprašovaných tenkých vrstiev : Obhaj. 7.4.2005, čís.ved.odb. 26-13-9
- Príprava a vlastnosti tenkých vrstiev nových modifikácií uhlíka s potenciálnou možnosťou ich využitia v kryolektronike : Obhaj. 05.09.2006, č.ved.odb. 26-35-9
- Metódy vytvárania tenkých vrstiev
- Optimalizácia dávkovania kvapalného prekurzora pre prípravu tenkých vrstiev metódou MOCVD
- Príprava a štúdium vlastností tenkých vrstiev manganitov a heteroštruktúr izolant/manganit pripravených metódou MOCVD