Technológia a charakterizácia tenkých vrstiev nitridov a oxidov kovov pre použitie v mikroelektronike, senzorike a mikrosystémovej technike : dát. obhaj. 7.5.2010, č.ved.odb. 26-35-9
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Manuscript Book |
| Language: | Slovak |
| Published: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2010
|
| Subjects: | |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
MARC
| LEADER | 00000ntm a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu208321 | ||
| 005 | 20230412080401.7 | ||
| 008 | 100726s2001------------------------slo-d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a slo | |
| 100 | 1 | |a Hotový, Ivan, |d 1957- |4 aut |u E030 |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky |X 4233 |U E030 |Y 549 |7 A000004233 | |
| 245 | 1 | |a Technológia a charakterizácia tenkých vrstiev nitridov a oxidov kovov pre použitie v mikroelektronike, senzorike a mikrosystémovej technike : |b dát. obhaj. 7.5.2010, č.ved.odb. 26-35-9 | |
| 260 | |a Bratislava : |b STU v Bratislave FEI, |c 2010 | ||
| 300 | |a 152 s | ||
| 650 | 7 | |a elektrotechnológia a materiály |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a nanotechnológie |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a tenké vrstvy |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a Mikroelektronika |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a mikrosenzory |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a mikrosystémy |2 stusub | |
| 996 | |b 284ED01276 |c E*ZP-140 |l EE01 |s A |a 24 |w stu208321_0001 | ||