Technológia a charakterizácia tenkých vrstiev nitridov a oxidov kovov pre použitie v mikroelektronike, senzorike a mikrosystémovej technike : dát. obhaj. 7.5.2010, č.ved.odb. 26-35-9
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Manuscript Book |
| Language: | Slovak |
| Published: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2010
|
| Subjects: | |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Physical Description: | 152 s |
|---|