Technológia a charakterizácia tenkých vrstiev nitridov a oxidov kovov pre použitie v mikroelektronike, senzorike a mikrosystémovej technike : dát. obhaj. 7.5.2010, č.ved.odb. 26-35-9
Guardado en:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Manuscrito Libro |
| Lenguaje: | eslovaco |
| Publicado: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2010
|
| Materias: | |
| Etiquetas: |
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
| Descripción Física: | 152 s |
|---|