Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť A: Výskum VF naprašovania kovových vrstiev : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
Salvato in:
| Autori principali: | , , |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Pubblicazione: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1978
|
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|
| Descrizione fisica: | 171 s |
|---|