Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť A: Výskum VF naprašovania kovových vrstiev : Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu
Guardado en:
| Autores principales: | , , |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Publicado: |
Bratislava :
SVŠT v Bratislave EF,
1978
|
| Etiquetas: |
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
MARC
| LEADER | 00000nam a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu235466 | ||
| 005 | 20150617230146.4 | ||
| 008 | 111004s1970----------------------------d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | ||
| 100 | 1 | |a Harman, Rudolf |4 aut | |
| 245 | 1 | |a Výskum katódového naprašovania, iónového plátovanie a iónového leptania vrstových štruktúr. Časť A: Výskum VF naprašovania kovových vrstiev : |b Etapová správa o riešení čiastkovej úlohy III-4-3/1 štátného plánu základného výskumu | |
| 260 | |a Bratislava : |b SVŠT v Bratislave EF, |c 1978 | ||
| 300 | |a 171 s | ||
| 700 | 1 | |a Tvarožek, Vladimír, |d 1943- |4 aut |u E030 |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky |X 2107 |U E030 |Y 549 |7 A000002107 | |
| 700 | 1 | |a Slovinec, Ľ. |4 aut | |
| 996 | |b EVYSK-S-262 |c E*VYSK-S-262 |l E |s P |a 0 |w stu235466_0001 | ||