Raspylenije tvjordych tel ionnoj bombardirovkoj = Sputtering by particle bombardment 1 : Fizičeskoje raspylenije odnoelementnych tverdych tel /
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| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
Moskva :
Mir,
1984
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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