Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon : Dipl.práca
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | , |
| Format: | Manuscrit Livre |
| Langue: | slovaque |
| Publié: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Sujets: | |
| Tags: |
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
Documents similaires: Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon :
- Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
- Plazmatické techniky
- Plasma deposition, treatment, and etching of polymers /
- Animácie vybraných polovodičových štruktúr na báze kremíka ako súčasť elektronického vzdelávania
- Silicon and Silicones /
- Skúmanie leptacích procesov v plazmochemickom a reaktívnom iónovom leptaní : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 04.11.1987 : Projekt III-6-1/12,III-7-2/01 /