Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon : Dipl.práca
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Manuskript Buch |
| Sprache: | Slowakisch |
| Veröffentlicht: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!
|
Ähnliche Einträge: Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon :
- Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
- Plazmatické techniky
- Plasma deposition, treatment, and etching of polymers /
- Animácie vybraných polovodičových štruktúr na báze kremíka ako súčasť elektronického vzdelávania
- Silicon and Silicones /
- Skúmanie leptacích procesov v plazmochemickom a reaktívnom iónovom leptaní : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 04.11.1987 : Projekt III-6-1/12,III-7-2/01 /