Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon : Dipl.práca

Na minha lista:

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Šiška, Marián (Author)
Outros Autores:	Hotový, Ivan, 1957- (Thesis advisor), Dudík, Miroslav (Thesis advisor)
Formato:	Manuscrito Livro
Idioma:	eslovaco
Publicado em:	Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1999
Assuntos:	elektronika
Tags:	Adicionar Tag Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!

View in STU Opac

MARC


LEADER	00000ntm a22000003a 4500
001	stu52735
005	20160719164913.3
008	000322s1999----xo------------------slo-d
040			\|a STU \|b slo
041	0		\|a slo
044			\|a xo
100	1		\|a Šiška, Marián \|4 aut
245	1		\|a Plazmatické leptanie kremíka = Plasme etching of silicon : \|b Dipl.práca
260			\|a Bratislava : \|b STU v Bratislave FEI, \|c 1999
300			\|a 67 s
650		7	\|a elektronika \|2 stusub
700	1		\|a Hotový, Ivan, \|d 1957- \|4 ths \|u E030 \|U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky \|T FEI Ústav elektroniky a fotoniky \|X 4233 \|U E030 \|Y 549 \|7 A000004233
700	1		\|a Dudík, Miroslav \|4 ths