Príprava tenkých vrstiev Si3N4 plazmatickým, katódovým naprašovaním a analýza ich vlastností : Kand.diz.práca : V.odb. 26-10-9 : Obh. 20.02.1975 /
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Manuscript Book |
| Published: |
Bratislava :
Elektrotechnický ústav SAV,
1973
|
| Subjects: | |
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|