Microsensors, MEMS, and smart devices

Saved in:
Main Authors: Gardner, Julian W. (Author), Varadan, Vijay K (Author), Awadelkarim, Osama O (Author)
Format: Book
Language:English
Published: Chichester : John Wiley & Sons, 2001
Subjects:
Mikroelektronika
fyzika polovodičov
polovodičové materiály
mikromechanika
MEMS
mikrosenzory
mikrostereolitografia
fyzika tuhých látok
mikromechanické zariadenia
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Physical Description:503 s
ISBN:0-471-86109-X

Similar Items