Microsensors, MEMS, and smart devices

Guardado en:
Autores principales: Gardner, Julian W. (Autor), Varadan, Vijay K (Autor), Awadelkarim, Osama O (Autor)
Formato: Libro
Lenguaje:inglés
Publicado: Chichester : John Wiley & Sons, 2001
Materias:
Mikroelektronika
fyzika polovodičov
polovodičové materiály
mikromechanika
MEMS
mikrosenzory
mikrostereolitografia
fyzika tuhých látok
mikromechanické zariadenia
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