Preparation and characterization of thin films using FIB technique

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Došenović, Đorđe (Verfasst von)
Weitere Verfasser: Ballo, Peter (Betreuung Doktorarbeit)
Format: Manuskript Buch
Sprache:Slowakisch
Englisch
Veröffentlicht: 2019
Schlagworte:
Online-Zugang:http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=143238
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!

MARC

LEADER 00000ntm a22000003a 4500
001 stuzp72780
003 SK-STU
005 20190718130158.9
007 ta
008 150427s2015----xo-----f-mn---000-0-slo-d
040 |a STU  |b slo 
041 0 |a eng 
044 |a xo 
100 1 |a Došenović, Đorđe  |u 036000  |4 aut  |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |T FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva  |X 87780  |U E060  |Y 817  |7 87780 
242 0 1 |a Príprava tenkých rezov pomocou FIB a ich charakterizácia  |y slo 
245 1 0 |a Preparation and characterization of thin films using FIB technique 
260 |c 2019 
300 |a 66 s. 
650 4 |a TEM  |2 slo 
650 4 |a fokusovaný iónový zväzok  |2 slo 
650 4 |a lamela  |2 slo 
650 4 |a InAlN  |2 slo 
650 4 |a EDS  |2 slo 
650 4 |a focused ion beam  |2 eng 
650 4 |a lamella  |2 eng 
650 4 |a TEM  |2 eng 
650 4 |a EDS  |2 eng 
650 4 |a InAlN  |2 eng 
700 1 |a Ballo, Peter  |u 036000  |k Z1  |4 ths  |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky  |T FEI Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva  |X 2121  |U E060  |Y 817  |7 A000002121 
856 4 |u http://is.stuba.sk/zp/portal_zp.pl?podrobnosti=143238 
996 |b 284ER02851  |c E*Bc- 2851  |l EE36  |s P  |a 0  |w stuzp72780_0001