Plasma deposition, treatment, and etching of polymers /
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Boston
Academic Press
c1990.
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| Schriftenreihe: | Plasma--materials interactions
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Publisher description Table of contents Im OPAC anzeigen |
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| Beschreibung: | xiii, 528 p. ill. 24 cm. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 0122004302 (acidfree paper) |