Charakterizácia elektrofyzikálnych vlastností implantovaných štruktúr MOS s tenkými izolačnými vrstvami s vysokou permitivitou
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | , |
| Format: | Manuscrit Livre |
| Langue: | slovaque |
| Publié: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
2007
|
| Sujets: | |
| Tags: |
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
MARC
| LEADER | 00000ntm a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu142713 | ||
| 005 | 20160719165031.6 | ||
| 008 | 070626s2007------------------------slo-d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a slo | |
| 100 | 1 | |a Kmeť, Adam |4 aut | |
| 245 | 1 | |a Charakterizácia elektrofyzikálnych vlastností implantovaných štruktúr MOS s tenkými izolačnými vrstvami s vysokou permitivitou | |
| 260 | |a Bratislava : |b STU v Bratislave FEI, |c 2007 | ||
| 300 | |a 50 s | ||
| 650 | 7 | |a Mikroelektronika |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a MOS štruktúry |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a elektrofyzikálne vlastnosti |2 stusub | |
| 650 | 7 | |a izolačné vrstvy |2 stusub | |
| 700 | 1 | |a Harmatha, Ladislav, |d 1948- |4 ths |u E030 |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky |X 2055 |U E030 |Y 549 |7 A000002055 | |
| 700 | 1 | |a Kováč, Peter |4 ths | |