Application of spreading resistence profiling for monitoring of semiconductor technological processes = Využitie metódy rozptylového odporu na monitorovanie technologických procesov polovodičovej výroby : Dát. obhaj. 25.02.2010, č. ved. odb. 26-13-9

Guardado en:
Autor principal: Kuruc, Marián (Autor)
Otros Autores: Hulényi, Ladislav, 1938- (Orientador), Kinder, Rudolf (Orientador)
Formato: Manuscrito Libro
Lenguaje:inglés
Publicado: Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
Materias:
elektronika
rozptylový odpor
technologické procesy
monitorovanie procesov
polovodiče
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Descripción Física:120 s

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