Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions /
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| Weitere Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Park Ridge :
Noyes Publications,
1989
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| Ausgabe: | 1.vyd. |
| Schlagworte: | |
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| Beschreibung: | 523 s |
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| ISBN: | 0-8155-1220-1 |