Process engineering analysis in semiconductor device fabrication /

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Middleman, Stanley (Verfasst von), Hochberg, Arthur K (Verfasst von)
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	New York : McGraw-Hill, 1993
Ausgabe:	1.vyd.
Schlagworte:	polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie
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Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication / von Middleman, Stanley, Hochberg, Arthur K

Veröffentlicht 1993

Buch