Principles of plasma discharges and materials processing /

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Lieberman, M. A. (Michael A.)
Weitere Verfasser:	Lichtenberg, Allan J.
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Hoboken, N.J. Wiley-Interscience 2005.
Ausgabe:	2nd ed.
Schlagworte:	Plasma dynamics. Thin films > Surfaces. Plasma etching. Plasma chemistry > Industrial applications.
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Bestandsangaben von Knižnica dreva, celulózy a papiera (VIII/a)
Signatur:	schkA2011/100185
Exemplar	Nevypožičateľné