Principles of plasma discharges and materials processing /

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	Lieberman, M. A. (Michael A.)
Autres auteurs:	Lichtenberg, Allan J.
Format:	Livre
Langue:	anglais
Publié:	Hoboken, N.J. Wiley-Interscience 2005.
Édition:	2nd ed.
Sujets:	Plasma dynamics. Thin films > Surfaces. Plasma etching. Plasma chemistry > Industrial applications.
Accès en ligne:	Contributor biographical information Publisher description Table of contents only Voir à l'OPAC
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Informations d'exemplaires de Knižnica dreva, celulózy a papiera (VIII/a)
Cote:	schkA2011/100185
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