Principles of plasma discharges and materials processing /

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Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Lieberman, M. A. (Michael A.)
Altri autori:	Lichtenberg, Allan J.
Natura:	Libro
Lingua:	inglese
Pubblicazione:	Hoboken, N.J. Wiley-Interscience 2005.
Edizione:	2nd ed.
Soggetti:	Plasma dynamics. Thin films > Surfaces. Plasma etching. Plasma chemistry > Industrial applications.
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Dettagli sul posseduto da Knižnica dreva, celulózy a papiera (VIII/a)
Collocazione:	schkA2011/100185
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