Príprava tenkých vrstiev na báze AINx metódou pulzného reaktívného neprašovania = Aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering : Dipl.práca
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Manoscritto Libro |
| Lingua: | slovacco |
| Pubblicazione: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
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| Soggetti: | |
| Tags: |
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