Príprava tenkých vrstiev na báze AINx metódou pulzného reaktívného neprašovania = Aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering : Dipl.práca
Uložené v:
| Hlavný autor: | |
|---|---|
| Ďalší autori: | |
| Médium: | Rukopis Kniha |
| Jazyk: | Slovak |
| Vydavateľské údaje: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Predmet: | |
| Tagy: |
Žiadne tagy, Buďte prvý, kto otaguje tento záznam!
|