Príprava tenkých vrstiev na báze AINx metódou pulzného reaktívného neprašovania = Aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering : Dipl.práca
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Manuskript Buch |
| Sprache: | Slowakisch |
| Veröffentlicht: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Keine Tags, Fügen Sie das erste Tag hinzu!
|
MARC
| LEADER | 00000ntm a22000003a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | stu52701 | ||
| 005 | 20160719164854.9 | ||
| 008 | 000320s1999----xo------------------slo-d | ||
| 040 | |a STU |b slo | ||
| 041 | 0 | |a slo | |
| 044 | |a xo | ||
| 100 | 1 | |a Olczár, Richard |4 aut | |
| 245 | 1 | |a Príprava tenkých vrstiev na báze AINx metódou pulzného reaktívného neprašovania = Aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering : |b Dipl.práca | |
| 260 | |a Bratislava : |b STU v Bratislave FEI, |c 1999 | ||
| 300 | |a 54 s | ||
| 650 | 7 | |a elektronika |2 stusub | |
| 700 | 1 | |a Búc, Dalibor, |d 1948- |4 ths |u E030 |U FEI Fakulta elektrotechniky a informatiky |T FEI Ústav elektroniky a fotoniky |X 2034 |U E030 |Y 549 |7 A000002034 | |