Príprava tenkých vrstiev na báze AINx metódou pulzného reaktívného neprašovania = Aluminium nitride films prepared by reactive magnetron sputtering : Dipl.práca
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Manuscrito Libro |
| Lenguaje: | eslovaco |
| Publicado: |
Bratislava :
STU v Bratislave FEI,
1999
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| Materias: | |
| Etiquetas: |
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