Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions /

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Otros Autores: Rossnagel, Stephen M (Compilador)
Formato: Libro
Lenguaje:inglés
Publicado: Park Ridge : Noyes Publications, 1989
Edición:1.vyd.
Materias:
plazma
fyzika polovodičov
iónové leptanie
fyzika povrchov
Mikroelektronika
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