Introduction to microlithography /

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Autres auteurs: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Bowden, M. J., 1943-
Format: Livre
Langue:anglais
Publié: Washington, DC American Chemical Society 1994.
Édition:2nd ed.
Collection:ACS professional reference book
Sujets:
Microlithography > Congresses.
Photoresists > Congresses.
Plasma etching > Congresses.
Semiconductors > Etching > Congresses.
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Slovenská chemická knižnica (I)

Cote: schkA2005/98570
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