Principles of plasma discharges and materials processing /

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Auteur principal: Lieberman, M. A. (Michael A.)
Autres auteurs: Lichtenberg, Allan J.
Format: Livre
Langue:anglais
Publié: Hoboken, N.J. Wiley-Interscience 2005.
Édition:2nd ed.
Sujets:
Plasma dynamics.
Thin films > Surfaces.
Plasma etching.
Plasma chemistry > Industrial applications.
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Description matérielle:xxxv, 757 p. ill. 25 cm.
Bibliographie:Includes bibliographical references (p. 735-748) and index.
ISBN:0471720011 (hardcover)

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