Principles of plasma discharges and materials processing /

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Autore principale: Lieberman, M. A. (Michael A.)
Altri autori: Lichtenberg, Allan J.
Natura: Libro
Lingua:inglese
Pubblicazione: Hoboken, N.J. Wiley-Interscience 2005.
Edizione:2nd ed.
Soggetti:
Plasma dynamics.
Thin films > Surfaces.
Plasma etching.
Plasma chemistry > Industrial applications.
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