Microelectronics processing chemical engineering aspects /
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| Outros Autores: | , |
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| Formato: | Livro |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Washington, DC
American Chemical Society
1989.
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| Colecção: | Advances in chemistry series
221 |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | View in OPAC |
| Tags: |
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| Descrição Física: | xiv, 547 p. ill. 24 cm. |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 0841214751 |
| ISSN: | 0065-2393 |