Microelectronics processing : inorganic materials characterization /
Gespeichert in:
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Washington, DC
American Chemical Society
1986.
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| Schriftenreihe: | ACS symposium series
295 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Im OPAC anzeigen |
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| Beschreibung: | x, 443 p. ill. 24 cm. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0841209340 |
| ISSN: | 0097-6156 ; |