Microelectronics processing : inorganic materials characterization /
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| Ente Autore: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Libro |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Washington, DC
American Chemical Society
1986.
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| Serie: | ACS symposium series
295 |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Visualizza in OPAC |
| Tags: |
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| Descrizione fisica: | x, 443 p. ill. 24 cm. |
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| Bibliografia: | Includes bibliographies and indexes. |
| ISBN: | 0841209340 |
| ISSN: | 0097-6156 ; |