Polymers for microelectronics resists and dielectrics /

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Corporate Authors: American Chemical Society. Division of Polymeric Materials: Science and Engineering, American Chemical Society. Meeting
Outros Autores: Thompson, L. F., 1944-, Willson, C. G. (C. Grant), 1939-, Tagawa, Seiichi
Formato: Livro
Idioma:inglês
Publicado em: Washington, DC American Chemical Society 1994.
Colecção:ACS symposium series, 0097-6156 ;
Assuntos:
Microelectronics > Materials > Congresses.
Polymers > Congresses.
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Slovenská chemická knižnica (I)

Área/Cota: schkA2005/98616
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